中国でのフッ化水素酸洗浄のための最初の大量生産機器は、パネル工場に正常に移動しました

フッ化水素酸洗浄は、ディスプレイプロセスの重要なリンクです。その洗浄効果は、デバイス構造の最終性能、効率、安定性に直接影響し、最終製品の降伏率に関連しています。ヒドロフル酸の洗浄は、活性層の表面の不純物を除去するだけでなく、表面を動揺させるだけでなく、界面の不純物の吸着能力を低下させます。表面の清潔さの要件は非常に厳格であり、理論的には、粒子、金属イオン、または有機接着剤の存在を許可しません。取り付けられた水蒸気と酸化物層には、後処理プロセスのプロセスの信頼性を確保するために、表面に原子レベルの平坦性が必要です。