中国初のフッ化水素酸洗浄量産設備がパネル工場に無事移設

フッ化水素酸洗浄はディスプレイプロセスにおける重要な工程です。その洗浄効果は、デバイス構造の最終的な性能、効率、安定性に直接影響し、最終製品の歩留まりにも関連しています。フッ化水素酸洗浄は、活性層表面の不純物を除去するだけでなく、表面を不活性化することで界面不純物の吸着能力を低下させます。表面清浄度に対する要求は非常に厳しく、理論的には粒子、金属イオン、有機接着剤の存在は許容されません。付着物、水蒸気、酸化物層は、後処理プロセスのプロセス信頼性を確保するために、表面の原子レベルの平坦性を必要とします。