中国初のフッ酸洗浄量産設備をパネル工場へ移設成功

フッ化水素酸による洗浄は、表示プロセスにおける重要な役割を果たします。その洗浄効果は、デバイス構造の最終性能、効率、安定性に直接影響し、最終製品の歩留まりに関係します。フッ酸洗浄は活性層表面の不純物を除去するだけでなく、表面を不動態化し、界面不純物の吸着能力を低下させます。表面の清浄度の要件は非常に厳しく、理論的には粒子、金属イオン、有機接着剤の存在は認められません。付着した水蒸気層と酸化層は、後処理プロセスのプロセス信頼性を確保するために、表面の原子レベルの平坦性を必要とします。